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液体质量流量控制器用于控制腐蚀性气体和特殊气体该如何选择密封材料?
点击次数:126 发布时间:2021-03-17 返回
   液体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。
 
  液体质量流量控制器用于控制腐蚀性气体和特殊气体该如何选择密封材料?
  由于金属密封的MFC价格较高,通常要求不高的场合,均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明,MFC都采用氟橡胶密封,可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体,例如可以用于氯化氢等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体,需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶,如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶;有机溶剂汽氛——需要采用硅橡胶;三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等——需要采用全氟橡胶。
 
  可以用于控制各种气体,包括腐蚀性气体和特殊气体,但是要注意,对于使用腐蚀性气体和特殊气体,需要恰当选择型号和密封材料。
 
  通常控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等,密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体,包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。
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