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多向气体质量流量控制器要注意选择正确的量程
点击次数:143 发布时间:2020-06-18 返回
   多向气体质量流量控制器采用Brooks出众的质量流量设计方案控制过程压力。有了如此丰富的压力控制和配置选择,Brooks一定能够为您的应用提供zui适合的电子压力控制仪器。
 
  由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量检测电压与设定电压进行比较,再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表,设定电位器,外设、内设转换和三位阀控开关等。
 
  多向气体质量流量控制器要注意选择正确的量程:
  A.将您需要的流量换算成标准状态下的流量(质量流量)。
 
  B.根据质量流量转换系数表,将您所用气体的质量流量值换算成与氮气(标定气体)等价的质量流量值。如果您希望按您实际使用的气体标定,请向厂家说明。
 
  C.确定所需标准量程。一般有自己的各种规格的标准量程,您实际使用的流量较大值应接低于某个标准量程值。标准量程的选取要避免过大或过小。质量流量的误差指标是按满量程值的百分比规定的,如果实际流量较小而量程值选取过大,则测量值的相对误差较大。
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