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使用质量流量控制器有哪四不可?
点击次数:149 发布时间:2020-04-15 返回
   质量流量控制器依据的原理是流体吸收热的速度直接与质量流量相关。移动的气体分子撞击热电阻时吸收带走热量,流率越大,接触热电阻的分子越多,吸收的热量越多,热吸收与某种气体的分子数,热学特性和流动特性有关。
 
  质量流量控制器中设置有一个气体流量调节阀门,阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程,在工作的过程当中,控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa,若压差低于较低值,有可能控制达不到满量程值;若高于较高值,有可能关闭时流量不能小于2%F.S.用户使用MFC时,无论用户工作的反应室是真空还是高压,应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内,并且要求气压要相对稳定。
 
  使用质量流量控制器四不可
  1、粉尘,若粉尘进入流量计会堵塞传感器和分流器,造成测量误差,要求在进气口前加装过滤器;
 
  2、怕液体和油污进入MFC,会造成失控,如果MFC的出口接有液体罐,需要在MFC出口加上单向阀,防止液体回流;
 
  3、要对气体和MFC管路系统进行干燥处理;
 
  4、怕在使用强腐蚀性、易燃易爆、有毒等危害性气体时不按安全规则操作,有可能造成产品损坏和其它更严重的损失。正确使用,安全操作,对每个用户都是重要的。
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