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多向气体质量流量控制器的主要优点有哪些
点击次数:158 发布时间:2020-01-07 返回
   多向气体质量流量控制器用于对于气体的质量流量进行精密测量和控制;气体质量流量计用于对于气体的质量流量进行精密测量。扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工,冶金,制药等。特点:精度高,重复性好。
 
  多向气体质量流量控制器的主要优点是什么?
  (1)流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
 
  对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于多向气体质量流量控制器,则一般可以忽略不计。
 
  (2)测量控制的自动化
 
  可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。通常,模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA,数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口,能非常方便地与计算机连接,进行自动控制。
 
  (3)精确地定量控制流量
 
  可以精确地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。
 
  (4)适用范围宽
 
  有很宽的工作压力范围,我们的产品可以从真空直到10MPa;可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);有很宽的流量范围,我们的产品最小流量范围可达0~5sccm,最大流量范围可达0~200slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%,流量控制范围是满量程的2~100%(量程比为--50:1),因此在很多领域得到广泛应用。
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