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液体质量流量控制器的工作原理和特点
点击次数:97      发布时间:2020-04-27
   液体质量流量控制器被设计用于要求对液体快速、控制的半导体制造工艺。数字控制回路和一个压电激励隔膜控制阀可让响应时间小于1秒。洁净空间内的装配工艺和全金属密封结构确保(高纯度和泄漏完整性)。独特的层流旁路和传感器部件提供的测量,同时液体温度仅上升5度,此外,简单化系统集成使它具有紧凑的包装尺寸。
 
  工作原理
  液体质量流量控制器是基于热交换原理设计的。探头内置发热模块及感热模块,流量开关的热传导同介质的流速密切相关,测量时,由发热模块发出热量,如果管道内没有介质流动,则感热模块接收到的热量是一个固定值,当有介质流动时,感热模块所接受到的热量将随介质的流速变化而变化,感热模块将这温差信号转化成电信号,再通过处理器将其转换为对应的标准模拟量信号或接点信号输出。
 
  特点
  热式气体质量流量计产品特点,直接测量气体质量流量,无需温度、压力补偿低流速测量;一个流量计能同时兼顾小流量和大流量测量,特别适合大口径测量。
  1、采用稳定性较高的技术铂RTD传感器。
  2、采用享有专有技术”平衡结构封装”,介质温度自补偿。
  3、专有算法,可实现高线性、高重复性、高精度。
  4、量程比宽1000:1,可据用户要求可拓展。
  5、可实现大管径小流量测量,较小流量可测低至零。
  6、无可动部件、振动影响可忽略。
  7、直管段要求不高1-2D。
  8、与介质的温度、压力无关。
  9、专有高温算法,介质温度可达510。
  10、采用高湿算法,实现高精度测量。
  11、对流量信号键入12点动态修正,内置10点修正。
  12、在线动态校正电流/电压输出。
  13、对粉尘等小颗粒不敏感。
  14、在线不断流装卸,维护方便。
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