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Alicat质量流量控制器助力MDC气体输送模块
点击次数:260      发布时间:2019-12-25

Alicat MCE系列真空气体质量流量控制器已经集成到MDC的真空产品XpressStick™MFC气体棒中。

Alicat MCE系列真空气体质量流量控制器可以精确控制高达20SLPM的气体流量,为气体输送模块提供气体编译功能,将压力气体输入到真空室。

1、MCE系列质量流量控制器的精准控制

Alicat MCE系列真空气体质量流量控制器精确控制气体流量低至0-0.5 sccm全刻度或高至0-20 slpm全刻度。

通过20到50毫秒的控制响应时间来改变设定值,MCE系列真空气体质量流量控制可以改善真空镀膜终端产品。


2、MCE系列质量流量控制器的应用原理

XpressStick MFC气体棒的一体化设计消除了复杂的硬件规格。专为超高纯度的工艺要求,XpressStick也提供用于腐蚀性环境的不锈钢模型。
随着MCE系列真空气体质量流量控制器的零预热时间,XpressStick可以在一秒钟内控制工艺流程,实时检测质量流量、体积流量、绝对压力和温度,完全补偿外界温度和压力的影响。

气体模块直接通过MCE系列真空气体质量流量控制器的集成显示进行编译,使用车载气体校准可以轻松地更改气体类型。

3、客户反馈

MDC技术副总裁James Moore说:“在为我们的XpressStick选择质量流量控制器时,快速响应时间、准确性和可靠性都是关键的标准。根据Alicat的经验,我们知道他们可以满足这些要求。”
Alicat质量流量控制器、压力控制器在世界各地的真空镀膜工艺中广泛应用。

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